Руководство содержит описание четырёх лабораторных работ по технологии обработки изделий микроэлектроники различного вида излучениями. В описании к первой лабораторной работе приводятся теория и технология лазерных методов обработки. Во второй и третьей лабораторных работах рассматриваются теория и технологии обработки изделий микроэлектроники некогерентными излучениями, в четвёртой лабораторной работе рассматриваются теория и технология электронно-лучевой обработки изделий микроэлектроники.
Руководство может использоваться студентами при изучении курсов: «Технология РЭС», «Технология ЭВС», «Технология микросхем», «Технология микросистем», «Технологические процессы микро- и нано-электроники», «Специальные вопросы технологии РЭС».
Руководство содержит таблиц - 2, иллюстраций -10, библиографический список - 9 названий.
Библиографическая ссылка
Авдеев С.П., Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководства к лабораторным работам по курсу «Специальные вопросы технологии радиоэлектронных средств» // Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований. – 2009. – № 3. – С. 107-0;URL: https://applied-research.ru/ru/article/view?id=31 (дата обращения: 23.11.2024).