Наумченко А.С.
Светличный А.М.
54 KB
В сборнике содержатся описания трех лабораторных работ по изучению технологических процессов изготовления микро-электронных изделий: окисления кремния, фотолитографии и создания выводов ИМС. Рассматриваются технологические особенности изучаемых технологических процессов. Приводится описание используемого технологического оборудования.
В руководстве содержится 10 таблиц, 15 иллюстраций и 8 наименований библиографических источников.
Библиографическая ссылка
Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководство к лабораторным работам по курсу «Технологические процессы микро- и наноэлектроники» // Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований. 2009. № 3. С. 109-0;URL: https://applied-research.ru/ru/article/view?id=37 (дата обращения: 19.05.2025).