Руководство содержит описание четырёх лабораторных работ по технологии обработки изделий микроэлектроники различного вида излучениями. В описании к первой лабораторной работе приводятся теория и технология лазерных методов обработки. Во второй и третьей лабораторных работах рассматриваются теория и технологии обработки изделий микроэлектроники некогерентными излучениями, в четвёртой лабораторной работе рассматриваются теория и технология электронно-лучевой обработки изделий микроэлектроники.
Руководство может использоваться студентами при изучении курсов: «Технология РЭС», «Технология ЭВС», «Технология микросхем», «Технология микросистем», «Технологические процессы микро- и нано-электроники», «Специальные вопросы технологии РЭС».
Руководство содержит таблиц - 2, иллюстраций -10, библиографический список - 9 названий.