В сборнике содержатся описания трех лабораторных работ по изучению технологических процессов изготовления микро-электронных изделий: окисления кремния, фотолитографии и создания выводов ИМС. Рассматриваются технологические особенности изучаемых технологических процессов. Приводится описание используемого технологического оборудования.
В руководстве содержится 10 таблиц, 15 иллюстраций и 8 наименований библиографических источников.