Научный журнал
Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований
ISSN 1996-3955
ИФ РИНЦ = 0,593

Личный портфель

ИССЛЕДОВАНИЕ СОСТАВА ИНГИБИТИРУЮЩЕЙ ПЛЕНКИ, ОБРАЗУЮЩЕЙСЯ ПРИ ОБРАБОТКЕ ФОСФИДА ИНДИЯ В УГЛЕРОДСОДЕРЖАЩЕЙ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

Беневоленский С.Б. Жалнова Е.В. Сущенко О.А.

Библиографическая ссылка

Беневоленский С.Б., Жалнова Е.В., Сущенко О.А. ИССЛЕДОВАНИЕ СОСТАВА ИНГИБИТИРУЮЩЕЙ ПЛЕНКИ, ОБРАЗУЮЩЕЙСЯ ПРИ ОБРАБОТКЕ ФОСФИДА ИНДИЯ В УГЛЕРОДСОДЕРЖАЩЕЙ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА // Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований. 2011. № 3. С. 137-137;
URL: https://applied-research.ru/ru/article/view?id=1193 (дата обращения: 19.05.2025).