Научный журнал
Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований
ISSN 1996-3955
ИФ РИНЦ = 0,593

Личный портфель

Методические указания по выполнению проекта по курсу «Технологические процессы микро- и наноэлектроники»

Наумченко А.С. Блинов Ю.Ф.

В методических указаниях даны рекоменда­ции по разработке конструкции и технологии из­готовления микросхем и микроэлектронных уст­ройств. Приведены методики расчёта технологи­ческих параметров изготовления локальных леги­рованных областей, формируемых в кремнии ме­тодами термической диффузии и ионной имплан­тации. Даны рекомендации по разработке техно­логических процессов изготовления микроэлек­тронных изделий. Определены объём, состав и порядок выполнения курсового проекта.

Методические указания содержат 11 таблиц и библиографический список из 13 наименований.

Библиографическая ссылка

Наумченко А.С., Блинов Ю.Ф. Методические указания по выполнению проекта по курсу «Технологические процессы микро- и наноэлектроники» // Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований. – 2009. – № 3. – С. 108-0;
URL: https://applied-research.ru/ru/article/view?id=36 (дата обращения: 21.11.2024).

Предлагаем вашему вниманию журналы, издающиеся в издательстве «Академия Естествознания»
(Высокий импакт-фактор РИНЦ, тематика журналов охватывает все научные направления)

«Современные проблемы науки и образования» список ВАК ИФ РИНЦ = 1,006
«Фундаментальные исследования» список ВАК ИФ РИНЦ = 1,674
«Современные наукоемкие технологии» список ВАК ИФ РИНЦ = 0,940
«Успехи современного естествознания» список ВАК ИФ РИНЦ = 0,775
«Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований» ИФ РИНЦ = 0,593
«Международный журнал экспериментального образования» ИФ РИНЦ = 0,425
«Научное Обозрение. Биологические Науки» ИФ РИНЦ = 0,400
«Научное Обозрение. Медицинские Науки» ИФ РИНЦ = 0,801
«Научное Обозрение. Экономические Науки» ИФ РИНЦ = 0,871
«Научное Обозрение. Педагогические Науки» ИФ РИНЦ = 0,733
«Научное Обозрение. Технические Науки» ИФ РИНЦ = 0,695
«European journal of natural history» ИФ РИНЦ = 0,301
«Международный студенческий научный вестник»
Издание научной и учебно-методической литературы ISBN РИНЦ DOI
РЕЦЕНЗИИ и ОТЗЫВЫ
кандидатов и докторов наук
на статьи, авторефераты, диссертации, монографии, учебники, учебные пособия
Академия Естествознания готовит к изданию реестр новых научных направлений, разработанных российскими учеными