Научный журнал
Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований
ISSN 1996-3955
ИФ РИНЦ = 0,593

Личный портфель

Руководство к лабораторным работам по курсу «Технологические процессы микро- и наноэлектроники»

Наумченко А.С. Светличный А.М.

В сборнике содержатся описания трех лабора­торных работ по изучению технологических про­цессов изготовления микро-электронных изделий: окисления кремния, фотолитографии и создания выводов ИМС. Рассматриваются технологические особенности изучаемых технологических процес­сов. Приводится описание используемого техно­логического оборудования.

В руководстве содержится 10 таблиц, 15 ил­люстраций и 8 наименований библиографических источников.


 

Библиографическая ссылка

Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководство к лабораторным работам по курсу «Технологические процессы микро- и наноэлектроники» // Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований. 2009. № 3. С. 109-0;
URL: https://applied-research.ru/ru/article/view?id=37 (дата обращения: 03.04.2025).

Предлагаем вашему вниманию журналы, издающиеся в издательстве «Академия Естествознания»
(Высокий импакт-фактор РИНЦ, тематика журналов охватывает все научные направления)

«Современные проблемы науки и образования» список ВАК ИФ РИНЦ = 1,006
«Фундаментальные исследования» список ВАК ИФ РИНЦ = 1,674
«Современные наукоемкие технологии» список ВАК ИФ РИНЦ = 0,940
«Успехи современного естествознания» список ВАК ИФ РИНЦ = 0,775
«Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований» ИФ РИНЦ = 0,593
«Международный журнал экспериментального образования» ИФ РИНЦ = 0,425
«Научное Обозрение. Биологические Науки» ИФ РИНЦ = 0,400
«Научное Обозрение. Медицинские Науки» ИФ РИНЦ = 0,801
«Научное Обозрение. Экономические Науки» ИФ РИНЦ = 0,871
«Научное Обозрение. Педагогические Науки» ИФ РИНЦ = 0,733
«Научное Обозрение. Технические Науки» ИФ РИНЦ = 0,695
«European journal of natural history» ИФ РИНЦ = 0,301
«Международный студенческий научный вестник»
Издание научной и учебно-методической литературы ISBN РИНЦ DOI
РЕЦЕНЗИИ и ОТЗЫВЫ
кандидатов и докторов наук
на статьи, авторефераты, диссертации, монографии, учебники, учебные пособия
Академия Естествознания готовит к изданию реестр новых научных направлений, разработанных российскими учеными