Научный журнал
Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований
ISSN 1996-3955
ИФ РИНЦ = 0,593

Руководство к лабораторным работам по курсу «Технологические процессы микро- и наноэлектроники»

Наумченко А.С. Светличный А.М.

В сборнике содержатся описания трех лабора­торных работ по изучению технологических про­цессов изготовления микро-электронных изделий: окисления кремния, фотолитографии и создания выводов ИМС. Рассматриваются технологические особенности изучаемых технологических процес­сов. Приводится описание используемого техно­логического оборудования.

В руководстве содержится 10 таблиц, 15 ил­люстраций и 8 наименований библиографических источников.


 


Библиографическая ссылка

Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководство к лабораторным работам по курсу «Технологические процессы микро- и наноэлектроники» // Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований. – 2009. – № 3. – С. 109-0;
URL: https://applied-research.ru/ru/article/view?id=37 (дата обращения: 29.03.2024).

Предлагаем вашему вниманию журналы, издающиеся в издательстве «Академия Естествознания»
(Высокий импакт-фактор РИНЦ, тематика журналов охватывает все научные направления)

«Фундаментальные исследования» список ВАК ИФ РИНЦ = 1,674